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移*****/* *******;************ -********°;*******°****;重复精*****.******进度优于*****,样品****重量不小**** **.****两套:每*****种规格******、*****型 *.****器: ***** 电子探****品室二次****器 极靴****子探测器****背散射电**** 低真空****探测器 ***** 镜头****背散射电**** *.*****品室******相机 *****样品室光****学探测器****.* 样****化等离子*****.* **** *.*****无油真空****配高真空****真空模式*****.* ******/*****子泵和两**** *.*****个涡旋泵****.* 穿****压差真空****证低真空****免对系统**** *.*****品室真空****真空模式******-*****低真空模**** *******.*.*****时间:<****分钟 *****字图像处*****.*.****描:******化扫描,****和成像不****** ******像素 *****电子束****:*.***** **,***** / ****.*.*****示:不低*****×******,可在电****两台显示****,每台显****显示和处**** *.*****幅图像显****图像同时****活动窗口*****.* ****:*******,**位****),********可选****.* 智****件,具有******幅的****分,线积****,隔行扫****补偿幅积****色功能,****图像,图****图像旋转****屏蔽 *****制和数据**** *.*****镜控制器****置要求:****流品牌工************* 四核******以上*************.**************;**独****像显卡;****录机;两****示器,分****于*********. *************的******作系统。****.* 操****键盘、鼠*****.* ****节:电子****自动亮度****自动聚焦****焦消像散****子束设定****轴、真空****态聚焦、****、倾斜补****.* 标****件 *.****应具有样****导航功能****.* 应****鼠标移动**** *.*****具有鼠标****大及对中****.*.*****像拼接功****超大视野*****.*.****操作导航****动引导用****分辨观察****操作 *****应具备数****加速电压****数、微标****距离、日****、真空度****类) *****应具备标****图形类(****、箭头、****、文字等*****.*应****功能,能****的长宽高****周长、面****.*.*****内嵌式的****文件,保****的使用直****。 *.****配件 *****谱 *.****用电制冷****管内置,****的寄生电****音,晶体****面积不小****方毫米;****.*分析****:******* *.*****量分辨率******):*******,************国际标准*****.*.****~*******范围内的****定性:>**** *.*****分辨率和****时显示 *****可处理****率≥*,************大输出计******,****** *.****析平台:****最新型支****内多国语****用中可随****智能软件****求系统平****能谱仪,****,波谱仪****作。智能****在快速扫****,实时自****学相并给****布 *.****家峰识别************于物理原****峰识别技****峰和痕量****更准确 *****智能跟****跟踪系统*****.*.****率(******布:用于****的样品细*****.******分析:针****用,有不****方法供选*******定****增强基体****合平整的****品倾斜范******度,************下的定量************量方法,****品表面斜****结果的影****粗糙样品****品的定量****.** ****散射衍射***** *.**** *******百万像素*******相******同一****证一体化*****.*最****辨率: ***** ********,取****度:优于****; 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*****使用培训****安装地点****全面培训****方能够熟****操作。 ****访培训:****电镜使用****候后,在****地点进行****,时间不****,解决用****过程中发****。 *.****:安装在****,使仪器****能稳定工****.电镜系****年质保(*******为****),并在****由电镜生****或国内服****供设备质****议书。 ****室 电镜****屏蔽室(****助区、办****样区、门****要求布局****。屏蔽区****到电镜安****指标由电****根据电镜****安装要求****进行检测****(下列要****于所投电****求的按照****要求,要****于所投电****求的按照****执行。)****特殊要求****铝塑板饰****铝网板吊****微晶地砖****有必要的****明系统。****统采用冷****形式,各****低于*********/****,其中屏****境温度-****摄氏度范****到电镜工*****°* ***** ; ****<*°*****出风稳定****投电镜安****求。 三****动除湿器****动除湿控****电磁式水****警,最大****不小于*****,水箱容****于**,****湿度: **** (在 ****时,无冷****三区配备****系统,外****室配备门**** 要求对****与吊顶与****相适应的****求出屏蔽****配置三层****为完全遮****层和半遮****配置百叶****.屏蔽区****蔽室力求****亮、舒适************为设计基****计保证在****增大至*******的情****置电镜系****值*******于等于*******;面********************高*********)*****不大于*****用*******莫合金嵌****六面体焊****铝塑板饰****铝网板吊****微晶地砖****立地线系****及动力系****、通风(****系统。 ****蔽室的照****嵌式组合****照明保证****至少达到****明; *****门洞净尺********************尺寸以所****安装手册****),磁屏****内嵌套锁****屏蔽门厚************屏蔽的技**** *.*****底座不小******.*****独立制作****屏蔽壳体****接,与地****布置减震****,保证磁****不受影响****台与壳体****导口处理****板用建筑****地平粘合**** *.*****室设有*****(通风口****处理,*************在出风口****气风扇,****风扇时换****于*******小时,。****风的条件****换气量不****立方米/****气风扇与****为软连接****振动。 ****蔽壳体:****轧钢板,****式整体平****底框架龙****顶方管规***************.****及*****************(公****部模块现****做*/*****度的预起****并且在长****吊筋将顶****,保证受****以保证壳****力不会下****料选择、****、预处理****手,确保****合理。施****家行业相****要求工程****国家标准****工程施工****规范》—*************)。 ****立地线系****一个单独****路(深埋****线),阻*****Ω。(****到达潮湿****-*米;************铜棒或铜****股铜线焊****接地线为****线;降阻****镁或氯化****固化剂;*****噪声控****孔铝网板****衬高效阻****料;屏蔽****面采用可****耐腐蚀性****都较好的****高效隔音****时满足环****安全的各**** *.*****、地线走****或软管;****备安装平****地面、墙****(无硬接****建筑物地****运动;地****砖贴面用****剂填缝;****黑色硅胶****面所有木****分均刷防**** *.*****按照所投****进行配置****不低于*****余。要求****置在屏蔽****且所有动****线路套优****管材由屏****沿钢结构****定位置,****体上开孔****口方式处****蔽室。 ****屏蔽室配****话接口与****网接口及****源插口。****样区(布****图一) ****样操作台****体(布局****一),宽*****-****** *.*****不锈钢水*****个,台****废水箱(****锈钢;壁****于*.*****积不小于****,上配置****验区离子****箱,并具****(加)水****能。 *****采用耐腐****,厚度不****.*毫米****用双层理****。 *.****六把实验****转椅。 ****据实验室****储物柜两****钢板厚度****.*******、办公区****辅助间(****附图一)****办公区根****寸配置标****椅三套,****个(冷轧****不小于*****)。 *****厅配备更****轧钢板厚*****.******.* 辅****辅组设备****隔音减震*****.安装****置,并提****保,质保****电镜生产****相应检测****制备设备****描电镜试****质保一年****离子溅射****子溅射仪****射电镜搭**** *.*****仪,包括****卸真空,****控制等均****控制 *****室不小于*****×*******.*可****于**个*****样品座****在 ******节 *.****空为******** *******颗粒****于*******可手动和****行喷镀操****动控制模****通过数字****制得到可****镀效果。****配置备用****(共两块*****配备高****厚控制仪****.震动抛****.*最大************幅可调,****径*******多可一次****于**个****供*******震动,无****震动。 ****样品夹具****于*” ******.*****样品 *****夹具一个****.**”****** ***** *.*****碗一个 ****试样配重*****个 *****样装载固****个 *.****布一盒:******” ******),**** *.*****悬浮液******升装 ****氧化硅抛****,*升装***** 维护****用调试校****附图一:****以上要求****以下要求****在采购方****安装调试****货方根据****出有经验****员按商定****采购方现****责整台仪****、调试工****仪器进入****状态。并****行设备使****培训至熟****用为止。****器、部件****证期从最****付之日算****月。质量****,若仪器****而停止运****保证期自**** *、保****,要求终****泛而且优****支持和配****整机终身****需更换零****收更换零****场成本价****采购方设****障报修后****应一个工****供解决方****工作日内****修工程师****。 *、****电缆、管****铝塑板、****物柜、文****应符合相****标准。