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中国科学****术研究所****年*至*****购意向 ****激光干涉**** 项目所****向: ****************年****政府采购****购单位:************* 采购****: *自****干涉测长****算金额:****.*******元(人民****购品目:************购需求概****双频激光*****自由度****测长系统****。*向干****:±*******向干涉****±*******向干涉仪******,*****、**测************干涉仪分****.*******量速度:*****/* ****时间: ****-** ****本次公开****向是本单****购工作的****,具体采****况以相关****和采购文**** 高精度****仪 项目****意向: ********************月政府采****采购单位************** 采****称: 高****测振仪 ****: **************民币) ****: *********工**** 采购需****: 高精****振仪用于****性能的测****于设备整****的提高。****速度:*****;位移分******/√****度分辨力****/*/√****量激光波*************;指示****:**********;****波长:*****±*******采购时间******-*****: 本次****购意向是****府采购工****安排,具****目情况以****公告和采****准。 激****备 项目****意向: ********************月政府采****采购单位************** 采****称: 激****备 预算*******.******万元****) 采购*************工艺试****购需求概****激光直写****能够实现****物理掩模****精度较高****免多套掩****套刻对准****征尺寸:******* ****度曝光模******灰度****:********** ****计采购时*******-****注: 本****采购意向****政府采购****步安排,****项目情况****购公告和****为准。 ****项目所在****: ****************年*****府采购意****单位: ************ 采购项**** 台阶仪****额: *************人民币)****目: *************仪器 采****况 : ****实现目标****测量。台****复性:*****加力范围*******-****;扫描长****μ*~****** 预计****: ******* 备注****公开的采****本单位政****作的初步****体采购项****相关采购****购文件为****行程宏动****所在采购********************年*至*****购意向 ****: **************购项目名****行程宏动****金额: ************(人民币****品目: ************试仪器 ****概况 :****宏动台用****圆的大行*****/*向****为***************度********行程达******. ****时间: ****-** ****本次公开****向是本单****购工作的****,具体采****况以相关****和采购文**** 超分辨****镜 项目****意向: ********************月政府采****采购单位************** 采****称: 超****显微镜 ****: **************民币) ****: ********* ****概况 :****相位显微****明材料器****型和折射****。横向分****于*******向相位恢*****.*%****购时间:*****-****** 本次公****意向是本****采购工作****排,具体****情况以相****告和采购****。 轮廓****所在采购********************年*至*****购意向 ****: **************购项目名****廓仪 预**** **********万****币) 采**** ********* 采****况 : ****式轮廓仪****光子芯片****需求 预****间: ******* 备****次公开的****是本单位****工作的初****具体采购****以相关采****采购文件****干涉仪 ****采购意向********************至*月政****向 采购********************目名称:**** 预算金******.******万元(**** 采购品************ 采购需****: 干涉****足光子芯****光学零部****高精度测****采购时间******-*****: 本次****购意向是****府采购工****安排,具****目情况以****公告和采****准。 复****量仪 项****购意向:*********************月政府**** 采购单*************** ****名称: ****测量仪 ****: **************民币) ****: *********光****器 采购**** : 该****满足光子****键机械零****表面影像****貌测量 ****时间: ****-** ****本次公开****向是本单****购工作的****,具体采****况以相关****和采购文**** 光学透****量设备 ****采购意向********************至*月政****向 采购********************目名称:****射波前测****预算金额*****.******万元(人****采购品目************学计量仪****需求概况****射波前测****以满足光****工检测装****中半导体****光子芯片****材料表面****高精度检****透射波前**** 预计采**** ******* 备注:****开的采购****单位政府****的初步安****采购项目****关采购公****文件为准*