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中国科学****术研究所****年*至*****采购意向****圆轮廓高****件 项目****意向: *********************月政府**** 采购单*************** ****名称: ****轮廓高速**** 预算金******.******万元(**** 采购品************光学式分****采购需求**** 一、数****二、主要****反晶圆轮****量组件,****率晶圆面****维检测和****。 三、****部分: ****主机:测****于*英寸****量精度优*****;测量****于*.*****倍光学变****倍数字变****实时测量****于*******、光源:****为*******,具备长****性。 *****相机分辨******×*****相机采集****于*******、电脑主****的分析软****量面形进****处理功能*****项*******系数、****、标准偏****相减功能****被测面形****三维图像****软件开发****可进行二**** *、线****备线缆长******。 ****时间: ****-** ****外协 本****采购意向****政府采购****步安排,****项目情况****购公告和****为准。 ****测组件 ****采购意向********************至**月****意向 采**** ***************项目名称****度检测组****金额: ************(人民币****品目: ************分析仪器****求概况 ****数量:*****要功能:****项方式对****面形进行****,实时测****低于******件接口具****能,提供****工具包。****要构成部****、测量主****口径大于****简单重复****度(*******.******前重复性*******)*****;具备****功能。内****长为*******,输出****于*******时间稳定****、相机频****采集频率*******,****频率不小*****。 *****机:装配****,可对测****行分析和****; 提供****工具包,****取解算面****主机扩展****。 *、****配备线缆*******。****购时间:*****-****** 材料 ****的采购意****位政府采****初步安排****购项目情****采购公告****件为准。****抛光机 ****采购意向********************至**月****意向 采**** ***************项目名称****头抛光机****额: *************人民币)****目: *************析仪器 ****概况 :****量:*台****要功能:****套光学数****,用于对****进行精密****现光学元****差修正和****光,光学****主要包括****化硅。 ****构成部分****数控小磨****件:成熟****置丰富,****非球面方****自由曲面****形式输入****机交互界****由设置抛****抛光时间****种轮廓光****加工。 ****小磨头:****度高强度****缸加压情****形;气缸****技术,高****敛。 *****供不少于****作培训和****技术支持****采购时间******-*****: 设备****开的采购****单位政府****的初步安****采购项目****关采购公****文件为准****道高分辨****解调模块****在采购意*********************至******购意向 ****: **************购项目名****通道高分****谱解调模****金额: ************(人民币****品目: *******半****变流设备****求概况 *****通道高****光谱解调****: *、****道高分辨****解调模块****个通道间****量,量程****~*******测量精度****,响应频******。 ****接口为******,数据****口 二、****分辨高速****模块主要****、高分辨****模块: *******-*****,光学*****.******高分辨高****测模块:****性能******器,像素*****×*,****** *****谱解调硬**** 包含*****应的采集****板、电源****、光纤分****采集板为****+*******现*******光谱数据****和处理、****参数设置****通信板负****道数据传****机和接收****发的命令****理模块对****系统内部****电源进行****理;光纤****于光信号****。 *、****解调软件*****通道光****值实时显****,解调模****置,集成****模型匹配****析算法。****购时间:*****-****** 外协 ****的采购意****位政府采****初步安排****购项目情****采购公告****件为准。****高分辨高****调模块 ****采购意向********************至**月****意向 采**** ***************项目名称****道高分辨****解调模块****额: *************人民币)****目: *******半导****流设备 ****概况 :****通道高分****谱解调模**** *、研****高分辨高****调模块,****通道间隙****,量程覆************量精度<****响应频率*****。 *****口为******,数据接**** 二、*****辨高速光****块主要单****高分辨光****块: 光******-*****,光学分****.*******分辨高速****模块: ****能*******,像素数****×*,帧***** *、****解调硬件****包含*个****的采集板****、电源管****光纤分束****集板为********架************谱数据高****处理、解****数设置等****信板负责****数据传输****和接收上****的命令;****模块对整****统内部各****源进行分****;光纤分****光信号均**** *、高****调软件模****通道光谱****实时显示****解调模块****,集成*****型匹配等****算法。 ****时间: ****-** ****外协 本****采购意向****政府采购****步安排,****项目情况****购公告和****为准。