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中北大学****镀膜设备****公告 山****建设项目****公司受中****委托,对****磁控溅射****项目组织****公开招标****邀请合格****加密封投****、项目名****大学磁控****设备项目****目编号:****-********* 三****算:******四、招标*****、本次****一个包,****项目必须****本招标文****。 序号****称 单位****主要技术****注 * ****镀膜设备**** 主要技**** 一、设**** 该设备****溅射钛(****铝(********)、****)、铬(****铂(******单质或合****、设备配**** 真空室****样室、抽****、溅射源****件台及系****制模块。****空室 *****个观察窗****观察所有****工件盘;****底的尺寸****英寸,兼****、*英寸****片及碎片****至少有两****,分别由****计控制;****个直流源****独控制三****枪,功率*******瓦****作业结束****氮放气。****动进样室****自动进样*****英寸、*****英寸片**** *.抽**** *)真****统需采用****泵加机械****配有三位****液氮冷阱****前级管道****漏阀; ****泵前配备**** *.溅****)三个靶****立调角度**** *)溅****由上往下*****)包含****强磁性靶****于溅射导****; *)****各配有一****气动遮板****具备共溅****膜薄膜沉**** *.加**** *)工****热功能,****温度检测*****)基片****转速*至****分钟可调****最高加热*******摄*****.系统****模块 *****算机和*****,要求带************软件,制****自动化,****程控制扩****以便实验****管理; ****能以系统****示系统流****,阀门状****编辑,调****及查询等*****)软件****报警功能****手动、自****多种控制*****)软件****、自动、****控制模式****腔体漏率****示并记录****; *)****是合法、****厂家软件****版本;提****费的维护****免费升级*****、其它****气、电异****统、以及****系统。 ****指标 *****能 *)****(****************):******** ****抽速:*****大气压抽************真空室漏****-*******/* *****匀性和重****在*英寸****均匀性优****,重复性****%。 *****率(保证****性、重复****): *****:≥********(钛****Å/*;****):≥*******(金*****Å/*****铂):≥****;**(*****Å/*****产品 本****内容及要****文件 注****格中未特****“进口产****的,均必****产产品。****货物、服****合国家的****准。 *****括:货物****运输、安****、培训和****等。具体****、采购范****达到的具****以本招标****务、技术****相应规定*****、交货****订供货合*****日历天****货物交付****指定地点****试完毕。****货地点:****指定地点****参与投标****应具备的****: (*****立承担民****能力; ****有良好的****和健全的****制度; ****有履行合****的设备和****能力、售****力; (****依法缴纳****会保障资****记录; ****加此项采****三年内,****动中没有****记录。 ****备良好的****; (*****本项目相****生产或经****围; (****投标单位****贸易的经****围(对外****者备案登****与具有对****营范围(****经营者备****)的代办****的委托代**** (*)****接受联合**** (******行政法规****他条件。****应商购买****须携带以****(本项内****供的资料****名使用,****标单位资****求的条件****有效的:****营业执照****(*)税****(国税、****本;(如****为三合一****做要求)****组织机构****本;(如****为三合一****做要求)****报名截止****内投标单****次纳税凭****社会保险****或社会保****单; (****标人代表****表人,需****代表人身****(*)如****表不是法****,经办人****人授权委****办人身份****以上资料****效原件及****单位公章****。) 七****件发售 ****时间:*******月********年****(法定公****定节假日****每日上午****-**:****午**:*****:******间:下同****、发售地****华鑫泰建****理有限公****省太原市*******号****八层****** *、招****价:招标****民币伍佰*******.****套;现金****后不退。****户行、账****方式 开****山西华鑫****目管理有****开户行:****银行太原****支行 帐********************* 八、****及地点:****件递交截****开标时间*****年*月****午*:*****标地点:****原市学院****北大学办****层*******九、联系****购单位:**** 联系人**** 联系电******-******* 采****委办公室*******-******* ****北大学(*******室****邮箱:******.****** 采购代****华鑫泰建****理有限公****:山西省****泽大街*****龙大厦八****人:李女****士 联系*******-******* *******-******* ****:***************@******* 监督部****电话:山****厅政府采********************鑫泰建设****有限公司*****年******