洁净环境光电器件制备系统　　竞争性磋商公告

一、项目****净环境光****备系统 ****编号：******** ****人：苏州****与招投标**** 地址：****州市东环****凌云楼*****邮编：******　　　****传真：************* 联系人****　　　　****：***************子邮箱：******@********.****术联系人****　　　　************** 电************@********.******购货物品****及主要性****求 洁净****器件制备*****套 （****蒸发单元****空腔室：****于*****************（长****），前门****不小于*****×*******×宽），****密封结合****门观察窗****不小于Φ****；后门铰****门，方便****检修；配****方便拆卸****板；腔体****不少于*****的真空法****用于后期****。 *.****：主泵采****低于******/*抽吸****性能分子****泵采用不******/*****的直联双****，需配备*****.真空****于*.********。****品台：尺***************（****方片，配****尺寸挡板****要磁流体****品台掩膜****客户要求****；样品台****旋转，转*****-******可自行调****体密封。****发源：不****蒸发源，****属蒸发源****发源，各****，金属蒸****陶瓷绝缘****机蒸发源****法兰金属****，源间有****上有挡板****蒸发电源*****组蒸发****包含金属****源和有机****源，金属****源功率不*****, 有****发电源，****温度不低****℃。 *****控：采用****控制仪在****镀速率和****同时数显****输出，膜****和厚度分****.*******显示精度****埃/秒；****数量不少**** *.操*******+****自一体操****真空系统****为手动和****模式，自****，根据腔****动执行相****的启闭；****控，软件****：永久有****.辅件配****循环水机****冷量不小*****，控温****℃；静音****，额定压*******，************；所需试****料高纯铝****度**.****。 （二****发单元 ****腔室：尺***************×*****（长×****，前门开****小于**************宽），与****封结合良****观察窗玻****小于Φ*****后门铰链****，方便打****修；配至****便拆卸的****；腔体需****少于*个****真空法兰****于后期功**** *.真****主泵采用****于********抽吸能****能分子泵****采用不低*****/*抽****直联双级****需配备旁****.真空极*****.*×******。 ****台：尺寸**************（长****片，配一****寸挡板，****磁流体密****台掩膜结****户要求定****样品台需****转，转速****-**转****自行调整****密封。 ****源：不少****属蒸发源****独立，采****缘结构，****板，源上**** *.蒸****不少于*****源，其中****电源功率******。 ****监控：采****积控制仪****蒸镀速率****可同时数****头输出，****率和厚度*****.******率显示精*****埃/秒****探头数量****个。 *****统：******屏手自一****统，真空****制分为手****二种模式****式下，根****强自动执****，阀的启****程监控，****期限：永**** *.辅****冷却循环****，制冷量*************.*℃****泵*台，*****.******大流量********；****蒸镀材料****粒，纯度******%。****洁净净化****.洁净环****套：总长******，宽****配合制备****设计，*****钢材质。****配有支架****轮，可微****配有用于****的脚踏板****箱体配有****型连接过****过渡舱，****通过*型****大*型过****≤*******度≤******小*型过****≤*******度≤******小过渡舱********************便运输，****渡舱与箱****方式均为****法兰连接****接于箱体*****.玻璃****实芯*型****真空密封****兰视窗结****无泄漏，****圈直径不*****，密封****凹槽，实****安装方式****封槽内安****支撑面及****平面度＜*****/*。****层或双层****圈粘贴在****的密封方****供产品宣****璃视窗密****意图。 ****口为铝合****原色氧化****。 *.****两套：集****量≥******，加装变**** *.真****：抽速≥****/*，真*****×********，知****配装油雾**** *.气****统两套：****可再生，****程通过*****控制，具****水除氧功****气体纯度*******，******。 ****控制阀：****磁集成阀****供产品宣****锈钢集成****。 *.****两台：测*****～******，知名品************水探头可****洗再生程****始状态，****用，后续****低。要求****析仪生产****功能的证**** **.****两台：测*****～*******，知名****用*******，可重复****维护成本****提供氧分****厂家对该****明文件。****配置超净****。 ******制系统：****范围是******℃，与****，程序控****设定值和****值的比数****的运行。****到停机温****缩机和冷****停止运作****风机延时****再停机。****于停机状****发风机会****钟运行一****断准确感****内的实际****到启动压******.快****剂吸附器****尺寸直径******，高*******，****锈钢材质****箱体外，****高效活性****，与主循****联，能吸****机气体。****动角阀控****器可抽真****真空度。****便的更换****，并且不****高纯气氛****）质保期****年。 五****准 本次****综合评分****为*******内容如下****）技术参****及整体综****（**分****技术参数******分）****商提供的****映该产品****的彩页或****书等作为****依据，其****磋商小组****情况进行****（*）所****多项不满****告要求（****或参数偏****户教学、****受范围的****小组评审****效响应文*****）所提****满足磋商****（偏离）****详、技术****确、缺漏****处扣*分****综合性能*****分） ****提供产品****优于竞争****件中技术****（磋商小****出指标有****（*分）****于项，每****。 （*****产品的市****况（*分****据所提供****牌影响力****有率（同****）、现有****馈情况、****产品发表****文情况等****。 （二****（**分****基准价：****性磋商文****价格最低****基准价，****满分******．其他供****价得分按****式计算：****＝（基准****）×******三）综合*****分） ****实力（*****据供应商****评定。 ****服务与培****（**分****）质保期****。符合磋****求的，得****增加一年*****分。 ****务、技术****训承诺情****）。 根****应文件的****、服务网****况、服务****、现有用****售后服务****务水平的****合评定。****它优惠措****分） 根****提供的在****要求范围****商小组认****措施综合****六、磋商****应包括所****备费、安****、测试验****训费、运****、税金(****品被加征****国际国内****保险和其****本项目所****切费用。****应商资质****一）具有****民事责任**** （二）****的商业信****的财务会**** （三）****合同所必****和专业技**** （四）****纳税收和****资金的良**** （五）****，在经营****有重大违**** （六）****接受联合**** 八、磋****件的组成****磋商响应****由下列材****部分表格****件*），****加盖供应****所有材料****订成册：****目录（磋****料与页码****原件）。****磋商响应****）。 *****基本情况****原件）。****详细配置****件）。 ****术规格偏****件）。 ****司简介（****资质、公****公司荣誉****）。 *****证明材料****营业执照****记证以及****代码证（****。 （*****表人授权****）。 （****代表人身****料（如身****照等）（****。 （*****权代表身****料（授权****需提供，****、护照等****社保证明****）。 （****商最新的****报表（复**** （*）****生产或经****可证（如****件，特殊****提供）。****仪器设备****授权证明****物非生产****投标的，****.*条要****专项授权****件、代理****复印件）****）有关质****心出具的****认证证书****例如：*******、*****等，国家****的设备必****复印件）****）近三年****磋商仪器****产品的用****联系方式****、科研用****原件）。****服务措施****诺（主要****本项目的****训方案及****措施等）****。 *.****认为应该****他材料。****特别说明****“磋商响****应装订并****加盖投标****。 *.****份，副本****副本与正****，以正本*****. 相****填写规范****州大学招****器设备投****》第三条****件”中的****执行。 ****交货期、****、付款方****、调试、****售后服务****务要求，****州大学招****器设备投****》第******求执行。****商文件价****币*******缴纳事宜*****），售**** 十一、****应商在报****认真阅读****学招标采****备投标人****本磋商公****了解并接****条款及要*************日******将报名函****附件*）****至采购人*************.******）。 十****磋商响应****事宜： ****丰快递邮****建议优先*****. 寄*************日******。 *.****信息： ****：罗老师****方式：*************收件地址****苏州市东****号苏大东****楼*******与招投标****） （二****交方式 ****交时间：****年*月*****：**～***** *.****点：江苏****东环路*****大学东校**** 十三、****文件截止*******年****日**:****十四、磋*************日****** 文件下******:/*****.********.************************/***