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原定于******月********磋商****环境气相****”项目(****:********)因报****商不足三****新发布竞****公告,欢****应资质和****应商参加****项目名称****境气相沉****二、项目************ 三、采****州大学采****标管理中****:江苏省****环路*********室************ ********************人:罗老**** 电******-******** ****:***************.** ****人:刘老**** 电话:************电子邮箱**************.****** 四、****品名、数****性能参数****净环境气****统 *****真空腔室****尺寸不小******×*****×*******手套箱密****好,前门****璃尺寸不*******,****一套方便****污隔板;****留*个及****用的真空****,用于后****展。 *****统:主泵****速不小于******/*****片泵抽速*******/****真空可调****阀;全量****合真空计****名品牌。****空极限:*****×******。 *.****最大可处****小于*英****台配有全****化挡板,****需要磁流****基片台旋****速度*~****分连续可****台旋转需****密封;基****加热:室*****℃可调****留升级负****。 *.****不少于*****圆形平面****置。 *****源:*台****于*******流溅射电****功率不低******射频****率**.*****,自动*****.气路****路工艺气****控制,量*****~*******\*~******\********。****系统:水****分子泵、****旋转密封****,整机配****保护系统****冷却循环****。 * ****手动和自****式,自动****根据腔内****执行相关****启闭;可****,软件使****永久有效****.磁控腔****水平流场****应腔室,****加热机构****.磁控样****可拆卸片****可放下最****英寸晶圆****.反应温****℃~******度控制精****,工艺温****以在******实现。 ******沉积****准加热液****源*路,************快速******应时间<****)、手动******不锈****源瓶及管****度**-****,控制精****。 ******路,配置****快速******应时间<****)、手动******不锈**** **.****气系统,****作为载气****名品牌管*****密封,****管路具有****功能。 ****控极限真******-*****,真空漏******-*****/*;额*******⊃****; ******前级配置****热温度最****℃,用于****解未反应****源;抽气****截止阀和****加热温度*****℃ *****测量配置****计+皮拉****,真空计****品牌,测****×**-******至大****空计前设****空计的高****以及气动**** **.******+工****自动控制****足高精度****,可视化****面,实时****各部分运****可方便的****、流量、****等参数,****存配方参****户权限分****件互锁,****、紧急停****确保安全****界面:外****屏,可自****停位置。****洁净环境****度约*米****高度配合****设计,*****钢材质。****配有支架****轮,可微****配有用于****的脚踏板****、箱体配****过渡舱,****直径≤*****,长度≤*****,小过****≤*******度≤******为方便运****小过渡舱****连接方式****卸式法兰****得焊接于****。 ******窗采用实****封圈(真****式)法兰****,达到无****芯*型圈****过*******为方形凹****密封圈安****嵌入密封****,密封支****封槽底平****.*******接受单层****芯密封圈****撑面上的****,需提供****册的玻璃****结构示意*****.手套****金材质,****,耐腐蚀****.气体循****集成风机*******/****变频控制****.真空泵****速≥******,真空度******-*****,知名品****油雾过滤*****.气体****:净化材****,且再生*******自****具有自动****功能,可****度:水<****,氧<***** **.****阀:不锈****成阀座,****品宣传册****集成阀座******.水****测量范围************品牌,采*****传感器****可以通过****程序恢复****,可重复****续维护成****求提供水****产厂家对****证明文件****.氧分析****范围:*************牌,采用****传感器,****用后续维****。要求提****仪生产厂****能的证明******.有****系统,箱****溶剂吸附****四)质保*****年。 ****标准 本****用综合评****分为******体内容如****一)技术****置及整体****分(******.技术参****(**分****应商提供****反映该产****数的彩页****明书等作****判依据,****由磋商小****际情况进**** (*)****品多项不****公告要求****,或参数****用户教学****接受范围****商小组评****无效响应****(*)所****不满足磋****求(偏离****不详、技****明确、缺****每处扣*****.综合性******分)****所提供产****数优于竞****文件中技****况(磋商****超出指标****)(*分****优于项,****分。 (****供产品的****情况(*****根据所提****品牌影响****占有率(****主)、现****反馈情况****供产品发****论文情况****定。 (****分(******.基准价****争性磋商****且价格最****为基准价****为满分******.其他****报价得分****公式计算****分=(基****价)×*****(三)综******分)****合实力(****根据供应****力评定。****后服务与****等(*******)质保****)。符合****要求的,****每增加一****加*分。****服务、技****培训承诺****分)。 ****响应文件****诺、服务****情况、服****间、现有****品售后服****服务水平****综合评定****其它优惠*****分) ****商提供的****件要求范****磋商小组****惠措施综**** 六、磋****价应包括****设备费、****费、测试****培训费、****费、税金****产品被加****、国际国****、保险和****成本项目****一切费用****供应商资****(一)具****担民事责****; (二****好的商业****全的财务****; (三****行合同所****备和专业****; (四****缴纳税收****障资金的****; (五****内,在经****没有重大****; (六****不接受联****。 八、****文件的组****)磋商响****般由下列****(部分表****附件*)****须加盖供****,所有材****装订成册**** 目录(****资料与页****,原件)**** 磋商响****件)。 ****应基本情****(原件)**** 详细配****原件)。****技术规格****原件)。****公司简介****司资质、****、公司荣****件)。 ****格证明材****)营业执****登记证以****构代码证****)。 (****代表人授****件)。 ****定代表人****材料(如****护照等)****)。 (****授权代表****材料(授****标需提供****证、护照****位社保证****件)。 ****应商最新****务报表(****。 (*****备生产或****许可证(****印件,特****须提供)****)仪器设****理授权证****货物非生****商投标的*****.*条****,专项授****原件、代****供复印件*****)有关****中心出具****系认证证****,例如:*******、*****等,国****求的设备****,复印件*****)近三****次磋商仪****同产品的****及联系方****学、科研****,原件)**** 服务措****承诺(主****对本项目****培训方案****惠措施等****)。 *****商认为应****其他材料****)特别说**** “磋商****”应装订****并加盖投****章。 *****一份,副****如副本与****入,以正**** *. ****及填写规****苏州大学****仪器设备****知》第三****文件”中****求执行。****物交货期****点、付款****装、调试****及售后服****商务要求****苏州大学****仪器设备****知》第*****要求执行****磋商文件****民币******关缴纳事****件*),****。 十一****供应商在****须认真阅****大学招标****设备投标****和本磋商****全了解并****有条款及****在********日******将报名函****附件*)****至采购人*************.******)。 十****磋商响应****事宜: ****丰快递邮****建议优先*****. 寄************日上午*****前。 *****人信息:****人:罗老****系方式:************ 收件地****省苏州市*****号苏大****云楼******购与招投****心) (****递交方式****递交时间*****年*月******~***** *. ****:江苏省****环路******学东校区****十三、递****件截止时******年*****午**:****十四、磋************日上午*****。 文件*******:******.********.****************************文件下载******:/******.********.**************************