武进南大未来技术创新研究院2024年11月(第1批)政府采购意向公告

武进南大****创新研究*****年******批)政府****公告 为****商及时了****购信息，****苏省财政****好政府采****开工作的****有关规定****进南大未****新研究院****年**月****)政府采****告如下：****项目名称****求概况 **** (万元****采购月份****门面向中****购 是否****产品、环****品 备注****用电子束****统采购项****硅基器件****工，实现****的曝光及****，支持各****负胶工艺*****套通用****光机。 ***** ******* 否 ****场发射透****微镜采购****要用于材****辨形貌观****的晶体结****成分分析****电子光学****压系统、****、扫描透************原位实验****电制冷能****字成像系****组成。包****场发射透****微镜。 ************否 否 ****型显微及****采购项目****用于材料****试和微纳****。可进行****形貌、晶****元素表征****品加工，****化加工，****学实验。****套场发射****子显微镜****焦离子束****系统。 ***** ******* 否 ****扫描电子****电子束曝****购项目 ****图案化掩****加工，可****况进行原****子显微观****：*套扫****微镜及电****系统。 ************否 否 ****直写系统**** 主要用****直接曝光****构图案，****形线路利****写在涂有****芯片、玻****陶瓷基板****，适用于****规则小片****光刻工艺****：掩膜板****、光刻胶****、线宽距****能、套刻****、三维灰****能。包括****光直写系****** ******* 否**** 椭偏仪**** 主要用****薄膜的厚****常数，也****体材料的****，相位延****测低达百****米的膜厚****料的不同****杂、工艺****致的孔洞****性倾向、****度分布等****括：*套**** ********-****** * 光****征系统 ****元件的光****包括：*****外可见近****光度计；****测量仪；****质量分析****套任意波****。 ********-*****否 * ****加工刻蚀****项目 用****表面生长****样品刻蚀****括：*套****机；*套****等离子刻****套反应离****；*套射****刻蚀机；****子体增强****沉积系统******* ****-** ***** 薄膜****采购项目****衬底表面****，介质及****薄膜。包****磁控溅射****套电子束****。 ********-*****否 ******沉积系统**** 原子层****用于沉积****氮化物及****，主要应****体器件、****、玻璃强****能电池钝****米纳米颗****包裹、银****化处理、****学玻璃镀****池等。包****原子层沉**** ********-****** ** ****系统采购****于大尺寸****晶元件微****。包括：*******口****栅曝光系************小周期偏****光系统；****平板透镜****。 ********-*****否 ******匀胶机采****用于大尺****件材料涂****：*套直****匀烤一体****全自动匀****体机。 ************否 否 ****晶批量加****项目 用****液晶元件****（含摩擦****理、灌晶****膜厚测试****括：*套*****套边框****机；*套****机；*套*****套******/*******；*套膜****；*套打******* ****-** ****** 大****采购项目****口径液晶****结构加工****包括：*****平行光源**** ******* 否 否****超声波清****项目 用****玻璃基片****。包括：****动超声波**** ** ****-** ****** 液****征系统采****用于液晶****观察和使****试。包括****涉仪；*****微镜； ************否 否 ****学平台及****项目 用****工和测试****括：光学****量光机械****光学元件****** ******* 否****次公开的****是本单位****工作的初****具体采购****以相关采****采购文件****武进南大****创新研究******年*****日