华中科技大学2025年04月至11月政府采购意向公开

为便于供****了解政府****，根据《****于开展政****向公开工****》（财库*****〕******关规定，****科技大学****年**月****政府采购****如下： ****购项目名****编号 采****采购需求****算金额 **** 预计采****备注 *****蚀机 *********************电子工业**** 采购数****，现场调****小于一周****成以后保****。 *.****需求定制****路数量；****可根据工****匹配超（****抖动、旋****循环喷淋****能 ********年***** 原子层************** *************设备 采*****台，现****间不小于****收完成以*****年。 ************晶圆，配****源、*路****全独立）****发生器，****＜*.****** ******厚均匀性**** ********年******电子束蒸****备 **********************空应用设****数量：*****调试时间****周，验收****保修期*****. 基板****寸 行星**** 片，公**** 片（******** ****寸 行星**** 片，公****片（******** 工****板加热最******度，****发源功率****，真空极*****.* *****(******低。 ********年***** 等离****化学气相********************** *************设备 采*****台，现****间不小于****收完成以*****年。 ****/*英寸****氮化硅、****、磷硅玻****硅玻璃等****工艺 ********年***** 溅射************* *********电****产设备 ****：*台，****时间不小****验收完成****期*年。****基材尺寸************ 处理室****备*个处*****. 可****特定于应****模块。 ****板加热机****沉积和旋*************年******减薄机 *********************电子工****备 采购****台，现场****不小于一****完成以后****年。 *****-*寸 ****圆厚度*****-********** ****年**月****学机械研************* *********电****产设备 ****：*台，****时间不小****验收完成****期*年。****兼容*-*****英寸为**** ****************年********气相*************** ************用设备 ****：*台，****时间不小****验收完成****期*年。****兼容*********晶**** 批量大****** 片****** *******月 ****离子刻蚀************* *********电****产设备 ****：*台，****时间不小****验收完成****期*年。****空室尺寸*******×****** *****小及数量****寸样片*****多片 *****极限真空****×**-******* ****年**月****金属刻蚀************* *********电****产设备 ****：*台，****时间不小****验收完成****期*年。****片尺寸：****可选*/****寸电极，****同尺寸的****、**-****子源，刻****（* σ**** *.*****样品台可*******）****围：*°*****°，实****倾斜入射****艺过程中****可自转 ****单腔式和****多种腔室**** ********年****** *******硅刻蚀机************ *********电子****设备 采*****台，现****间不小于****收完成以*****年。 ****尺寸：*****下兼容；****蚀速度为****/*******择比为******、刻蚀*****% *****：**±************：********** ****年**月*******清************** *************生产设备****量：*台****试时间不****，验收完****修期*年*****~******清洗 **************、********→*******→*******→ ************ ** ****机 **********************业专用生****采购数量****现场调试****于一周，****以后保修**** *、晶*****" ****** ******触类型：****, **************、接近式****隙： ***** μ* ****设置精度****μ* *****：******* *.******、顶部**** (************** < ****** *、****精度 (************)： <**** μ* ************ ** ****显影机 ********************子工业专****备 采购****台，现场****不小于一****完成以后****年。 *****寸：ψ*****ψ*******、******** 晶舟****个晶舟 ************* 涂胶****(*)*****正胶/ ****(*)光**** * ~****； (***** ( **********************)马达**** ****************)高精****浦≦*.****( ******下) ******* *****械手臂:******, ****** ***** *******单元:溫****-***********************元:溫度*****℃ *****寸:*(****+************************) *****基片尺寸******～ψ***** *、************单元 (****用喷头 *****, ******, ****** ；(****旋转速度****. *,****** ********年****** 喷************** *******电子****生产设备****量：*台****试时间不****，验收完****修期*年****基片尺寸******～ψ***** *、*************-*个****、***************元 (*****型：正胶**** ；(*****喷头 ***** 个； ****** (***** **************；(*)****速度 ******,******； (*****定量泵浦****** (******以下************* 机械****轴; ******, ******** *****热盘单******℃-**** *、******* *****冷盘单元*****-******涂布机台*************** ******* **** ********年****** 激光隐**** ***********************工业生产****购数量：****场调试时****一周，验****后保修期*****.激光****导体泵浦****激光功率******* ****冷却方式****循环水冷****扫描速度*******/****.划片尺****； *.****效果＜*****崩边&热**** *.切****≧********* *******月 ****控溅射镀*************** ************业生产设****数量：*****调试时间****周，验收****保修期*****. ******热均匀性****/-******. **************？/******与片间均****%以内；*******片****电阻均匀****以内；*****片间电阻*****%以内****** *******月 ****式低压化****积（****** ***********************应用设备****量：*台****试时间不****，验收完****修期*年****可装载晶*****英寸，****容； *****，具备常****氮化硅（****），多晶****位掺杂）*****氧化硅****，每管处****量：******配片）；**** *******月 **************理系统 *********************电子工****备 采购****台，现场****不小于一****完成以后****年。 *****量：******； *.****种类有：****、*******、*******、*********、*******、******、*******、干式****处理设备**** *.吸****：*******.处理气*******、******/*****等； *****洗式尾气****-**台****处理量≥*******；****需要接工****冷却，全****，配置循****重力排水***** *******月 *****气体供气************** *************设备 采*****台，现****间不小于****收完成以*****年。 ****系统： ****动气柜*****台 *.****自动控制****换、自动****真空等）****钢瓶，含**** *.*****面，配置****子秤 *****气架****** *.*****动控制（****、自动吹****空等） ****瓶，含钢*****.*/****，配置吹****秤 *、****箱******* *. ****制 *.****手动阀+****充阀 *****：手动阀****+**+*****.一进****/*"进****"出 *****配面板******台 *****控制 *****：手动阀****扩充阀 ****路：手动****阀+****** *.一*****/*"*****"出 ****泄漏侦测****电化学式*******颗****化学原理****吸工作方****气体******器 *、****洗尾气处*****台： ****容量：******； *****体种类有*****、*******、*******、*********、****、**、*******等****干式吸附****设备-*****.吸附剂*******；****理气体种*****、******/**/**** *、加****尾气处理****台： *****≥*******； *.****工艺冷却****全自动控****循环水泵****水。 ************* ** ************清洗系统************ *********电子****设备 采*****台，现****间不小于****收完成以*****年。 ****系统： ****件湿式清****台 *.****控制（槽****制、清洗****、安全报****.机台架****钢 *.****液，槽体****，酸性药****而定 *****、药液加**** *******依清洗部****定 ********年****** 显微****光测振仪************ *********光学**** 采购数****，现场调****小于一周****成以后保****。 *.****多普勒原****显示面外****，位移分**** **，****达 ******最大振动******/*****二维面扫****可视化。****于频闪法****振动，位**** * *****频率 ******， 最****度为 ****** *.****信号源、****阻抗分析****测试支持**** *******月 ******单层沉积************** *************设备 采*****台，现****间不小于****收完成以*****年。 ****尺寸:*****寸,可定****工艺类型*************. 装*****片/腔****定制******工艺温度*******°****制 *.****管路:单****路独立管****制 *.****艺: *******、********、******、*****物、氮化**** *. ****:先进逻****等晶圆制******* ****年**月****激光掩膜**** ***********************工业生产****购数量：****场调试时****一周，验****后保修期*****、最大****:*******平方毫米****大基板尺******多种**** *、最****寸:可达****** *****入速度(****特征尺寸************** *****格低至*************的灰度暖****量和光栅****模式多种****格式 *****齐 *、*****、两种****选择(******或******)实时自****统 ********年****** 中束**** ***********************应用设备****量：*台****试时间不****，验收完****修期*年****兼容******以下晶圆****小片； ****能量*-******，注*******~****/*******入角度*****°自动可****注入温度****℃，*寸****性优于******* *******月 ****里叶变换****镜 **********************微镜 采*****台，现****间不小于****收完成以*****年。 ****三个以上****出光路接****机控制转****. 全自****析系统：****要设计测****统将自动******寸晶****氧碳含量****厚度测试**** 绝度透****将样品仓****焦光转化****进行透过****并具有光****射光二次****； *.****围：**************辨率优于*******-****. 波数****于*.******@******-*，波****于*.******-*@******-*****重复测量****； *.****精度：优****%*； ****噪比：高******:*****值，*分****分辨率*****） *.****：迈克尔****，**度****有效防止****； *.****长寿命、****/远红外******* ****年**月****全真空型****换红外光************** *************仪器 采*****台，现****间不小于****收完成以*****年。 ****范围******** *****光谱分辨****-* *****温度范围***** * ************ 本次公****意向是本****采购工作****排，具体****情况以相****告和采购****。 华中****采购与招**************日