武汉大学2025年5月政府采购意向-国产自主化真空互联半导体材料生长、器件制造与系统测试平台

武汉大学****年*月政****向-国产****空互联半****生长、器****系统测试****产自主化****半导体材****器件制造****试平台 ****采购意向************月政府采****采购单位****** 采****称： 国****真空互联****料生长、****与系统测****预算金额*******.******万元****) 采购*************真空应****采购需求**** （一）****名称：国****真空互联****料生长、****与系统测****（二）采****实现的主****目标：围****路制造、****纳米科技****目标，在****上，优化****硬件设施****器设备使****完善建设****化真空互****合物半导****测量装置****试系统，****：集成电****造平台、****合半导体****平台、基****片的多用****感器测试****的*个子****含：真空****设备、国*****射线光****仪（******歇电子能****合仪器平*****刻蚀设****互联光刻****仪、真空****秒/飞秒****电子态检****空互联针****米光刻系****互联光刻****析联用系****互联原子****检测仪、****光刻胶荧****、真空互****光吸收检****空互联光****性能检测****圆激光隐****备、多功****测试装置****路关键尺****、大功率****变温探针****、宽禁带****功率脉冲****圆级大功****数测试系****带宽矢量****仪、动态****分析仪、****瞬态热阻****半导体器****环老化设****代半导体****物仿真系****带半导体****载测试系****台现代数****、芯片智****生平台、****元件级光****心、传感****度集成及****、自主遥****协同遥感****平台、国****能遥感仪****试与验证****成电路先****台通过对****机械运动****微纳尺度****物流动及****础研究，****触空气的****、器件制****，提高芯****良品率；****陷进行亚****辨率快速****纳米级的****征，实现****导体的封****圆级动静****射频毫米****性测试分****海量检测****汇集与管****动、智能****损检测与****；国产芯****感仪器在****验证平台****“芯片-****仪器系统****测试验证****撑国产自****架构的先****设计、研****和集成。****紧密协作****个完整的****制造、检****全链条半****系统。 ****购标的数****台（套）****购时间：*****-****** 本次公****意向是本****采购工作****排，具体****情况以相****告和采购****。