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空天信息****)*******月(至)****府采购意****信息大学************至)******采购意向****供应商及****府采购信****《财政部****政府采购****工作的通****库〔*******号)等****,现将 ****大学(筹******年 ****)** ****向公开如****号 采购**** 采购需****预算金额****) 拟面****业预留 ****时间 (****) 备注****天信息大****硅硅自动****采购项目****用于空天****(筹)先****工平台建****实验室建****拟通过采****动键合机****度晶圆级****硅键合工****电子与集****院的专业****和科学研****拟采购的****量标准、****必须满足****标准、行****地方标准****的服务内****不限于以****以实际采****准。 *****否 *******月 *****息大学(****密减薄抛****购项目 ****于空天信****筹)先进****平台建设****验室建设****通过采购****键合机、****合机、解****机、临时****机、多功****、键合对****精密减薄*****研磨抛****晶圆红外****、光学检******、超****显微镜等****现超精密****工艺。拟****务的质量****全要求必****家相关标****标准、地****。采购的****包括但不****内容,以****情况为准****** 否*****年******空天信息****)高精度****设备采购****项目用于****大学(筹****纳加工平****根据实验****求,拟通****进式光刻****机配套匀****显影系统****配套等离****等设备,****度图形转****工艺,满****集成电路****业基础教****研究需求****的服务的****、安全要****足国家相****行业标准****准等。采****内容包括****以上内容****采购情况***************年***** 空天****(筹)材****备采购项****目用于空****学(筹)****加工平台****据实验室****,拟通过****充电镀系*****镀铜机****控溅射台****磁控溅射****发台、多****束蒸发台****电子束蒸****子束蒸发****式*********磁控****真空冷喷****积系统、****控溅射台****硅化学气****备等设备****质量薄膜****工艺,满****集成电路****业基础教****研究需求****的服务的****、安全要****足国家相****行业标准****准等。采****内容包括****以上内容****采购情况***************年***** 空天****(筹)刻****购项目 ****于空天信****筹)先进****平台建设****验室建设****通过采购****、*******、金属刻****介质刻蚀****耦合反应****、二氧化****、*******、*******氮化铝刻****子束刻蚀*****腐蚀系****,实现压****高质量制****度加工,****与集成电****专业基础****学研究需****购的服务****准、安全****满足国家****、行业标****标准等。****务内容包****于以上内****际采购情**** *************** * 空****学(筹)****与光电集****工设备采****本项目用****息大学(****微纳加工****。根据实****需求,拟*****英寸光****圆清洗机****燥机、匀****影机、飞****工系统、****合**打****管式退火****真空退火****注入机、****仿真设计****限元仿真****、集成光****体电子器****计软件、****作站等设****高精度接****图形加工****光图形加****电子与集****院的专业****和科学研****拟采购的****量标准、****必须满足****标准、行****地方标准****的服务内****不限于以****以实际采****准。 *****否 *******月 *****息大学(****测试设备**** 本项目****信息大学****进微纳加****设。根据****设需求,****购聚焦离****电子显微****+*******聚焦显微****显微镜、****射仪、三****面轮廓仪****维探针台****磁场真空****太赫兹射****、太赫兹****仪、太赫****析成像系****度太赫兹****系统、集****测试系统************直流探针****设备等设****电子与集****院的专业****和科学研****拟采购的****量标准、****必须满足****标准、行****地方标准****的服务内****不限于以****以实际采****准。 *****否 *******月 *****息大学(****设备采购****项目用于****大学(筹****纳加工平****根据实验****求,拟通****光隐形切****离子体清****自动贴片****贴片机、****机、激光****真空回流****动点胶机****焊机、超****机、激光****平行缝焊****打印机、****性激光精****统、多层****设备、芯****等设备,****度后道封****满足电子****路学院的****教学和科****求。拟采****的质量标****要求必须****相关标准****准、地方****采购的服****括但不限****容,以实****况为准。***** 否 ****年**月****天信息大****重点强化****室集成电****微纳加工****项目 本****空天信息****)重点强****建设。根****建设需求****采购******学计划软****法清洗机****、光刻机****写光刻机****蚀机、气****释放系统****合反应离****各向同性****蚀(******基的******蚀、激光****刻蚀机、****控溅射台****蒸发台、****气相沉积****体增强化****积设备、****积设备(****、扩散炉****满足电子****路学院的****教学和科****求。拟采****的质量标****要求必须****相关标准****准、地方****采购的服****括但不限****容,以实****况为准。***** 否 ****年**月****空天信息****)重点强****验室封装****设备采购****项目用于****大学(筹****化实验室****据实验室****,拟通过****划片机、****管壳打标****分析仪、****仪、倒置****镜、原子****、方阻测****力测试仪****式白光干****片测厚仪****、场发射****、台阶仪****等设备,****与集成电****专业基础****学研究需****购的服务****准、安全****满足国家****、行业标****标准等。****务内容包****于以上内****际采购情**** *************** 本次公****意向是本****采购工作****排,具体****情况以相****告和采购****。 空天****(筹) ****年**月***