广东中科半导体微纳制造技术研究院2025年05月至2025年06月政府采购意向

为便于供****了解政府****，根据《****于开展政****向公开工****》（财库*****〕******关规定，****位*******月至*******月采购****如下： ****购项目名****需求概况****府采购政****预算金额****预计采购****注 * ****刻机 标****步进式光****的数量：****功能或目****半导体制****精度图形****掩模版上****案分步曝****表面，适****制程,以****辨率、高****的大规模**** 需满足*****、适配****以下标准****、至少具****用于曝光****组、一套****统、一套****系统 *****处理的晶****@**次****，包含自****准方法）****片 *、****辨线宽与****≤*.*****落实国家****产品、环****品、促进****发展残疾****单位、贫****副产品等****,*******.** ****年**月****压化学气****备 标的****压化学气****备 标的**** 主要功****：在常压****过气相化****积薄膜用****器件中的****钝化层或****备，适合****或特定材**** 需满足*****、适配****准晶圆（****容*、******、至少****可产生臭****与系统 ****单片晶圆****薄膜，其****粒（@大****微米）应**** *、 ****的片内均*****%，片****应≤*%****匀性应≤****实国家关****品、环保****、促进中****展残疾人****位、贫困****产品等政*******,****** *******月 ****的采购意****位政府采****初步安排****购项目情****采购公告****件为准。****科半导体****技术研究******年*****日