高真空智能磁控离子溅射仪采购终止公告

南方科技*************-**************告 项目****真空智能****溅射仪采****编号 *******-*******-***** 项目类****类 成交****低价成交****式 公开****止理由 ****告发布时******-***** **:***** 预算************* 项目****含税 国****备注 采**** 细 序**** 数量 **** 高真空****离子溅射****货物） ****是否接受****绝进口 ****推荐品牌****无推荐型****规格及参****技术参数****形尺寸（*******(******(******(*)****入电源 ****/********** ****靶头 *****控溅射，****，所有金*****、溅射****：射频磁****可用靶材****金属靶材****空系统：****分子泵+****空泵 ********/*****.******、真空测****式真空规****程范围：**** ~ ***** *、可****拆卸、可****室真空室******×***** 高硼硅*****、抽气***** 分钟****-*******分钟内优*******，****保护和真****能 ******尺寸：φ****** *****可旋转样****速可调，****不小于*****； 真空****小于******高度不低******； ****品台切换****制、自动*****、溅射****：φ *****厚度 *******） ****作真空：******* ****操作界面****寸 ******式液晶屏****显示靶材****、设备工****镀膜厚度****时曲线显****流和真空****、操作语****（可选其**** **、****小型台式******、冷****：*******、预溅射****配全自动****射挡板，****纯度，减**** **、****：******** 三孔****、纯度 ****以上的高****出口压力************、*内置*****种靶材****，包括金****、钨、钛****等常用靶*****、********、聚****、*******氧化物靶****键调用；*****分子泵****：*-*****/*，最******转/*****、分子****护功能 ****厚测量：*****.*-***** 单次****，测量精*******，**** *.******、系统****** 芯****器控制系****字显示，****示分子泵****率、电流****度等工作*****、*氩****可设置冲****冲洗次数****量等参数****高腔体洁****升镀膜效****期 质保****生维护。****求 *、****厂家原装****：卖方保****的货物是****未使用过****格产品且****品，并完****同规定的****格和性能*****、提供****上门安排****服务，并****产生的一****终身维修****件无关的****终身免费****件只需贴****即可提供****块化升级*****、可视****卸、可清****真空室可*****次 *****电极可以****挚盒******测试一次****材固定器****换*次 **** 合同生****收到乙方****发票之日****）个工作****合同总额****）%作为****甲方应在****、安装调****行及验收****起（******日内向乙****合同价款******）%****期 合同*****天（自****，具体时****校要求提****自然日）****