重庆新型储能材料与装备研究院高真空磁控溅射薄膜沉积系统采购更正公告

重庆新型****与装备研****空磁控溅****积系统采****告 ******材料与装****高真空磁****膜沉积系****正公告 ****基本情况****的项目编****原公告的****：**新****料与装备****真空磁控****沉积系统****次公告日******年*****　 二、**** 更正事****性比选文****内容： ****争性比选****篇 一、****选内容更**** 序号 **** 最高限****） 保证****元） 中****（名） **** **新****料与装备****真空磁控****沉积系统***** * ****对竞争性****第二篇 ****要求中的****指标要求****： （一****要求： ****真空系统****子泵 ▲****空极限：****-******* 抽真空****.*×******≤*******. 真****复合真空*****×******至*×***** *. ****：长宽高****于*******×*******门需配备****观察窗玻****小于Φ*****配一套方****防污隔板****法兰、管****隔板等均*****不锈钢****后开门，****可以和手****密封，需****少于*个****真空法兰****于后期功**** *. **** ※ *****寸不小于******； **** 具备旋****旋转速率****大转速不****转/分；***** 衬底****温至******温区******，热场均****±*.*****于五点测*****.* ****，最大偏****于*******等离子体****。 ▲*****距：******，可调范****** *****. 可实****溅射。 ****磁控靶及****只*******平面靶，****电源，射****台，输出****于*********.*****，直流电****输出功率*******。**** 掩膜板****※**.****统：冷却*****台 ▲****是否可接****可 ▲*****包含靶材*****，**************石墨，*******，*****，*********，*******、*****、**、*******各****度**，******）。****. 控制****套控制系******+触****；按钮控****开关、机****、分子泵****空阀开关****源开关及****统保护：****互锁保护****保护，缺****护，设备****保护，急****数显：真****示、分子****态显示、****工作状态****▲**.****均匀性：*****%，需****材料。 **** 气路系****工艺气体****制，量程****工艺制备****属氧化物****准确度优*************.为保****量及售后****，比选人****产品的制****服务承诺****确认书、****原件（加****鲜章）。****安装与售****提供免费****试服务，****人员 *****现场免费****器试运行****月后，比****供一次现****应用技术****期用户回*****次/年****完善的技****应用服务****.质量和****：中选人****货物必须****，货物表****好、无划****撞、无锈****制造厂商****规渠道订****。所提供****品性能、****必须符合****说明书。****须在供货****提供所有****件。技术****是手册、****他形式的****。上述技****保证设备****进行安装****检查、维****、测试、****收和运作****所有内容****免费提供****说明书，****书，使用****护手册等****.中选人****坚固的木****适用于长****硬纸箱且****木托的标****装，适合****海运、陆****运输方式****化，防潮****防雨、防****等。 *****性比选文**** 资格审****办法二、****（一）、****中的*.****（**%****准更正如**** 技术部*****%） *****.起评****效比选申****评分为******.加分*****.* ****文件投标****竞争性比****质性技术****本竞争性****第二篇中****号标注的****每条可加*****.*比****件投标应****争性比选****技术需求****争性比选****篇中带 ****标注的部****条可加***** *.*****请文件投****于竞争性****一般性技****（本竞争****件第二篇****”或“※****的部分）****可加*分*****以上三****不超过******.扣分*****.*比****件投标应****不满足竞****文件重要****的（本竞****文件第二****▲”号标****），从起****除*.*****.*比选****投标应答****满足竞争****件一般性****的（本竞****文件第二****”或“※****的部分除****起评分中****，扣完为****.本部分****二、技术****款进行评****条数的界****最低一级****标项为一****是否隶属****编号。 ****：*********日　****它补充事****凡对本次****提出询问****下方式联****）比选人****型储能材****研究院 ****何老师 *******-************：*******兴镇卓越******新型****与装备研*****室 （****代理机构*************** ****曾老师 *******-************：*******小龙坎嘉*****-* ***