中国科学院上海有机化学研究所四源高真空磁控溅射及无机材料蒸发镀膜设备采购公告

根据《中****上海有机****所物资采****法》等相****就 四源****控溅射及****蒸发镀膜****目采购组****磋商，欢****供应商前****   采****号：*******-******** 采****称：四源****控溅射及****蒸发镀膜****购方式：****商 采购****源高真空****及无机材****膜设备（****采购要求****项目技术****数及要求****序号 采****技术规格****交货期 **** * 四****磁控溅射****料蒸发镀****主要配置****机械组成****.*磁控****机材料蒸****空腔室 ****空腔体前****门 *.****体上端盖****.*样品****装置 *****旋转，升*****.*无****发舟 *****磁控射频*****.*手****挡板 *****蒸发源，****立挡板 ****膜厚探头****.**真****单元电源****.**智****环水箱 ****台架上罩****侧围板 ****组成部分****高真空复**** *.*****机械泵******复合真****.*高真**** *.*****抽直角阀****质量流量*****两路气****置 *.****放气阀,*****.*真**** *.*****水站 *****成部分 ****控电源 ****品电动旋****电源 *****电源 *****流量计显****.*射频**** *.***** *.*****仪 技术*****.磁控****件 *.****腔体连接****磁控溅射****、真空规****、石英晶****样品台法****腔体采用****料制造，****，表面抛**** *.*****端样品台**** *.*****手动方型****更换溅射****发舟材料*****四通路****探头，检****射及蒸发****率、频率*****膜厚控****对三个磁****根据材料****率，频率****别进行控****.*质量****制氩气，****。 *.****体混合装****、氮气按****混合。 ****发舟可以****机材料电**** *.*****充入纯净****气等。 ****沉积升降**** *.*****发基片托****纳样品最************ *.*****动操作旋****.*样品****驱动******转轴驱动****续可调*****/分钟。****手动直接****样品挡板*****.*样****根据操作****调整距离************控射频溅**** *.*****溅射靶可****源控制。****适配*英****靶材。 ****    ****   *****靶有独立****，防止靶****互污染。****每个靶角****。 *.****极组件及****   *****水冷电极****一个蒸发****蒸发舟（****各*支。****蒸发电源****功率* **** *.*****整电流精***** *。****蒸发源之****卸挡板，****污染。 ****系统及真*****.*分****    ****    ****  抽速*****/* *****机械泵*****/*。****极限真空****.** ******。 ****验真空指****气抽至******-******分钟(氮****； *.****漏率：关****时≤*******.真空****控系统 ****显真空计*****只 ，*************.********；电****，量程******-**************。 *.****射直流电*************磁控射****率*************** *.*****电源最大***** ******方式：合****预付货款****：安装验**** 其它要****.按*******质量管****织设计、****调、检验****运输； ****该设备的****说明书及****仪器仪表**** *.在****验收后，****费维修正****现的故障****的故障维****工本费及****终身维修****本费及差*****.厂家****培训。 ****生效后******万元 ****） 注：****出预算金****无效。 ****申请人的****： 商务****业营业执****代表授权****被授权委****身份证、****（三年内****购合同）****关证明材****定资格要****负责人为****者存在直****管理关系****应商，不****一项目下****动。  ****件递交时****时间及地****递交时间*****年*******时******递交地址****零陵路*****号楼*楼****注意：所****务必全部****，如未密****损将视为****。 会议*******年****日**时****会议地点****零陵路*****号楼*楼****四、联系****目联系人****联系电话************ 邮箱：*****@*******.**